W 1991 roku naukowcy z Bell Labs opublikowali pracę, w której wykazali możliwość wykorzystania długości fali 13,8 nm do tzw. miękkiej litografii projekcyjnej promieni rentgenowskich. 

Aby sprostać wyzwaniu litografii EUV, badacze z Lawrence Livermore National Laboratory , Lawrence Berkeley National Laboratory i Sandia National Laboratories otrzymali w latach 90. fundusze na przeprowadzenie badań podstawowych nad przeszkodami technicznymi. Wyniki tego udanego wysiłku zostały rozpowszechnione za pośrednictwem partnerstwa publiczno-prywatnego Cooperative R&D Agreement (CRADA), przy czym wynalazek i prawa w całości należały do ​​rządu USA, ale były licencjonowane i dystrybuowane za zgodą DOE i Kongresu.  CRADA składała się z konsorcjum prywatnych firm i laboratoriów, manifestowanych jako podmiot o nazwie Extreme Ultraviolet Limited Liability Company (EUV LLC). 

Intel, Canon i Nikon (liderzy w tej dziedzinie w tamtym czasie), a także holenderska firma ASML i Silicon Valley Group (SVG) wszystkie ubiegały się o licencję. Kongres odmówił [...] japońskim firmom niezbędnego pozwolenia, ponieważ były postrzegane jako silni techniczni konkurenci i nie powinny korzystać z finansowanych przez podatników badań kosztem amerykańskich firm. W 2001 roku SVG zostało przejęte przez ASML, pozostawiając ASML jako jedynego beneficjenta kluczowej technologii. 

Do 2018 r. ASML udało się wdrożyć własność intelektualną z EUV-LLC po kilku dekadach badań rozwojowych, z włączeniem finansowanego przez Europę EUCLIDES (Extreme UV Concept Lithography Development System) i wieloletniego partnera, niemieckiego producenta optyki ZEISS oraz dostawcy źródeł światła synchrotronowego Oxford Instruments. To sprawiło, że MIT Technology Review nazwał ją „maszyną, która uratowała prawo Moore'a”. Pierwszy prototyp z 2006 r. wyprodukował jeden wafel w ciągu 23 godzin. Od 2022 r. skaner produkuje do 200 wafli na godzinę. Skaner wykorzystuje optykę Zeiss, którą ta firma nazywa „najdokładniejszymi lustrami na świecie”, wytwarzanymi przez lokalizowanie niedoskonałości, a następnie odrywanie pojedynczych cząsteczek za pomocą technik takich jak figurowanie wiązką jonów. 

Uczyniło to niegdyś małą firmę ASML światowym liderem w produkcji skanerów i monopolistą w tej najnowocześniejszej technologii i zaowocowało rekordowymi obrotami w wysokości 27,4 miliarda euro w 2021 r., przyćmiewając swoich konkurentów Canon i Nikon, którym odmówiono dostępu do własności intelektualnej. Ponieważ jest to tak kluczowa technologia dla rozwoju w wielu dziedzinach, amerykański licencjobiorca wywarł presję na holenderskie władze, aby nie sprzedawały tych maszyn Chinom. ASML postępowało zgodnie z wytycznymi holenderskiej kontroli eksportu i do odwołania nie będzie miało uprawnień do wysyłania maszyn do Chin. Chiny w tym samym czasie również zainwestowały dużo w swój krajowy projekt EUV, a chińskie wiodące firmy, takie jak Huawei i SMEE, również złożyły patenty na swoje alternatywne propozycje odnoszące się do technologii EUV.

Wraz z wielokrotnym wzorowaniem, EUV utorowało drogę do wyższych gęstości tranzystorów, umożliwiając produkcję procesorów o wyższej wydajności. Mniejsze tranzystory wymagają również mniejszej mocy do działania, co skutkuje bardziej energooszczędną elektroniką.

en.m.wikipedia.org

Po pierwsze, Gazpromu nie można postrzegać jako przedsiębiorstwa komercyjnego dbającego o minimalizację kosztów i maksymalizację zysków w interesie akcjonariuszy oraz o podstawową rentowność. Duże projekty, które firma rozpoczyna i finansuje, mają wyraźny charakter polityczny i należy je traktować wyłącznie jako działania wizerunkowe dla rosyjskich władz – niezależnie od kolosalnych środków, które Kreml przeznacza na takie nieudane przedsięwzięcia, jak "Północne Potoki", "Południowy Strumień", nowy korytarz transportu gazu z Jamały do tych strumieni, trasę Sachalin-Chabarowsk-Władywostok i wreszcie Siłę Syberii.

Po drugie, jest też inna motywacja dla rozwijania majestatycznych (i nieopłacalnych) projektów Gazpromu — chodzi o zyski, które dzięki nim osiągają przedsiębiorcy bliscy rosyjskim władzom. Wykonawcami – często bez przetargu – stają się właśnie ich firmy, które sztucznie zawyżają kosztorysy prac i materiałów.

Po trzecie, silną motywacją do budowy gazociągu Siła Syberii 2 była konieczność naprawienia błędu popełnionego przy zawieraniu z Chińczykami kontraktu na dostawy gazu w 2014 r. Zasoby dwóch złóż: Kowykta w obwodzie irkuckim i Czajanda w Jakucji nie pozwalają na wywiązanie się z tej umowy. Gazprom zobowiązał się dostarczać Chinom przez 30 lat po 38 mld m sześc. gazu rocznie, a do tego muszą wydobywać go 42 mld m sześc. w ciągu roku. Obecni na miejscu geolodzy i wydobywcy oceniają jednak, że tamtejsze złoża stracą swój potencjał na długo przed upływem tego terminu.

Otwarty z wielką pompą gazociąg Siła Syberii trzeba ratować. Gazprom rozważa powrót do koncepcji, którą rozważał jeszcze w 2013 r. w początkowym projekcie dostaw gazu do Chin — czyli podłączenie do innych jakuckich złóż. Okazało się jednak, że zagospodarowanie tych rezerw i doprowadzenie ich do wymaganego poziomu produkcji zajęłoby zbyt wiele czasu.

Kierownictwo Gazpromu postanowiło dostarczyć niezbędne ilości gazu do Siły Syberii nie z dowolnego źródła, ale z odległego Jamalsko-Nienieckiego Okręgu Autonomicznego i poprowadzić stamtąd nową trasę o przepustowości 50 mld m sześc. rocznie. Co więcej, ta sama magistrala infrastrukturą Siły Syberii ma zostać połączona z gazociągiem Sachalin – Chabarowsk – Władywostok. Jest to potrzebne, by zapewnić gaz na potrzeby podpisanej już z Chińczykami umowy na 10 mld m sześc. rocznie trasą dalekowschodnią.

W rzeczywistości budowa gazociągu Siła Syberii 2 już się rozpoczęła. W ubiegłym roku rozpoczęto w Rosji budowę długiej na 800 km trasy z Siły Syberii do Chabarowska, skąd gaz będzie mógł trafić do Władywostoku, a następnie do Chin. Decyzja o stworzeniu przejść granicznych z Chińczykami zostało już uzgodniona. Rosjanie rozpoczęli również prace na głównej trasie z Jamały. Projekt ten realizowany jest etapami, pod pozorem zwiększenia przepustowości poszczególnych odcinków dawno wybudowanego gazociągu. Dostarcza on gaz rosyjskim odbiorcom w obwodach tomskim, nowosybirskim, kemerowskim i biegnie do Ałtaju.

Popyt na gaz jest tam mikroskopijny i zwiększanie rocznej przepustowości przebudowywanych odcinków do 50 mld m sześc. nie ma sensu – chyba że uwzględnia się długoterminowe plany połączenia tej trasy z Siłą Syberii w obwodzie irkuckim. Gazprom buduje więc Siłę Syberii 2 ze wspomnianych powodów, nie czekając na to, aż Chińczycy wyrażą zgodę na przyjęcie nowych ilości gazu proponowaną trasą przez Mongolię.

To, że Chiny nie pokryją choćby części kosztów tego projektu, jest zrozumiałe. Wystarczy przypomnieć, jak przedstawiciele Gazpromu oświadczali, że Chińczycy przeznaczą do 20 mld dol. (ok. 72 mld zł) na budowę pierwszej nitki gazociągu Siła Syberii, chociaż oświadczenia te nie odpowiadały prawdzie. Chińczycy nigdy nie zainwestowali w ten projekt gazociągu. Teraz sytuacja się powtarza. Pragmatyczni decydenci w Pekinie z przyjemnością będą obserwować, jak Gazprom wydaje pieniądze na rozbudowę wschodniej infrastruktury transportu gazu i być może kiedyś zgodzą się na dodatkowy import po korzystnej dla siebie cenie.

Wszystko przebiega według schematu. Zaczyna się od ambitnych planów podboju chińskiego rynku gazu, następnie zawierane są z góry nieopłacalne kontrakty, potem okazuje się, że kontrakty są niewykonalne z powodu braku zasobów, a następnie trzeba "naprawiać błędy", wydając ogromne pieniądze na nowe, nieopłacalne projekty. Oprócz Chińczyków zyskują na tym tylko "przekupieni" kontrahenci Gazpromu.

onet.pl\The Moscow Times